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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제21권 제6호
- 발행연도
- 2020.1
- 수록면
- 606 - 611 (6page)
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This study investigates the eff ects of the corrosion protection and temperature coeffi cient of resistivity (TCR) properties ofpoly-vinyl-alcohol (PVA)/graphene oxide (GO) composites on the zinc substrate and copper (Cu) damascene interconnects. As the PVA content increased, signifi cant amounts of fine wrinkles were observed in the films, and the coating uniformity of the composites also increased. The electrical properties of the composites indicated that the TCR can be improved by optimizing the weight % ratio of PVA/GO. After performing the accelerated corrosion test, the Cu films were lost at the coating interface and at the area without GO coating, but remained at the GO coating bottom area in the SEM and EDX observations. The results shows that corrosion of the Cu interconnects can be prevented by using the composites fi lm and also help solve the resister?capacitor time delay problem.
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