TiZrN 박막의 조성이 구조적 특성 및 열적 특성에 미치는 영향

최병수; 엄지훈; 석민준; 이병우; 김진곤; 조현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최병수 (부산대학교) 엄지훈 (부산대학교) 석민준 (부산대학교) 이병우 (한국해양대학교) 김진곤 (부산대학교) 조현 (부산대학교)

저널정보: 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제31권 제1호

발행연도: 2021.1

수록면: 37 - 42 (6page)

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화학적 조성이 TiZrN 박막의 구조적 특성 및 열적 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 증착된 TixZr1-xN(x = 0.87,0.82, 0.7, 0.6, 0.28) 박막에서 Zr 분율이 증가함에 따라 결정립 크기가 감소하고 주상 구조에서 입계상 구조로 점진적으로 변화하는 미세구조 변화가 관찰되었다. 또한 XRD 분석을 통해 Zr 분율이 0.4까지 증가할 때 TiN 상에서 TiZrN 상으로의 점진적인 결정상 전이가 일어났음을 확인하였다. 900°C 온도에서의 열처리 이후 Ti0.82Zr0.18N과 Ti0.7Zr0.3N 박막은 rutile 상 TiO2와 TiZrO4 산화물이 공존하는 형태로 전환된 반면에 Ti0.6Zr0.4N 박막은 TiZrO4 산화물로 변화함을 확인하였다. 다섯 가지 조성의 TiZrN 박막 중에서 Ti0.6Zr0.4N 박막이 가장 우수한 고온 안정성을 나타내었고, Inconel 617 기판의 열산화에 의해 발생하는 Cr의 표면 확산을 억제하는 열산화 저항성 향상 효과가 가장 우수함을 확인하였다.

참고문헌 (18)

참고문헌 신청

S. Hogmark / 2000 / Design and evaluation of tribological coatings / Wear 246:20

M. Azadi / 2016 / A review of titanium nitride and titanium carbide single and multilayer coatings deposited by plasma assisted chemical vapor deposition / Int. J. Eng. Trans. B 29:677

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