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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
윤민식 (성균관대학교) 김윤제 (성균관대학교)
저널정보
한국유체기계학회 한국유체기계학회 논문집 한국유체기계학회 논문집 제24권 제5호(통권 제128호)
발행연도
2021.10
수록면
37 - 43 (7page)
DOI
10.5293/kfma.2021.24.5.037

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

이류체 노즐 분무 해석을 위한 분열모델 상수 최적화 연구
윤민식 ,  김윤제 한국유체기계학회 논문집 2021.10 학술저널
이류체 노즐 분무 해석을 위한 분열모델 상수 최적화 연구
윤민식 ,  김윤제 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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Over the past few decades, investigations on a dual-fluid nozzle for a wafer cleaning process have been actively conducted. Especially, developments of the dual-fluid nozzle using a numerical analysis is attracting many researchers. Breakup model constants, however, must be determined precisely to perform the numerical analysis of the dual-fluid nozzle. To select the suitable breakup model constants, validation study with experiments should be carried out. In this paper, optimization using a multi-objective genetic algorithm (MOGA) was conducted to determine the most suitable breakup model constants to use the discrete phase model (DPM) during the numerical analysis. Then, experimental results using a phase doppler particle analyzer (PDPA) were compared to validate the numerical analysis. For the design parameters, the sheet, ligament, droplet diameter, and breakup time constant, were selected. Also, the Sauther mean diameter (SMD) and mean velocity of the droplets were considered as objective functions. Consequently, the most suitable values of the sheet ligament, droplet diameter and breakup time constants were predicted to be 1.8645, 10.142, 1.4922, and 23.101, respectively.
#Discrete phase model(분산입자상 모델) #Dual-fluid nozzle(이류체 노즐) #Multi-objective genetic algorithm(다목적 유전알고리즘)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 수치해석
3. 최적 설계
4. 결과
5. 결론
References

참고문헌 (17)

참고문헌 신청
Snow, J. T. / 2013 / Dual-fluid spray cleaning technique for particle removal, in developments in surface contamination and cleaning / Elsevier :107~138 google schola Keswani, M. / 2013 / Post CMP cleaning, in developments in surface contamination and cleaning / Elsevier :145~183 google schola Lefebvre, A. H. / 2017 / Atomization and Sprays / CRC press google schola Raul Payri / 2008 / Phase doppler measurements: system set-up optimization for characterization of a diesel nozzle / Journal of Mechanical Science and Technology 22(8):1620~1632 google schola O’Rourke, P. / 1987 / The Tab method for numerical calculation of spray droplet breakup google schola

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