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저자정보
정민현 (한국과학기술원) 조홍래 (한국과학기술원) 정태승 (한국과학기술원) 전상훈 (한국과학기술원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
2,070 - 2,072 (3page)

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Hafnia-based material has attracted huge attention for last decade due to its interesting ferroelectric properties. Especially, Hf<sub>x</sub>Zr<sub>1-x</sub>O shows high remanent polarization value in thin film in comparison with conventional inorganic ferroelectric materials such as PZT (Pb<sub>x</sub>Zr<sub>1-x</sub> TiO<sub>3</sub>), BaTiO<sub>3</ ... 전체 초록 보기

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