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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.6
- 수록면
- 1,939 - 1,942 (4page)
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Thick film mechanical sensors can be categorized into four main areas piezoresistive, piezoelectric, piezocapastive and mechanic tube. In this areas, the thick film strain gage is the earliest example of a primary sensing element based on the substrates. The latest thick film sensor is used various pastes that have been specifically developed for pressure sensor application.
The screen printing technique has been used to fabricate the pressure sensors on alumina substrate(Al₂O₃). Thick film capacitive of strain sensing characteristics are reported and dielectric paste based on (Ti+Ba) materials. The electric property of dielectric paste has been studied and exhibit good property with good gage factor comparable to piezoresistive strain gage. New piezocapacitive strain sensor was designed and tested. The output of capacitive value was good characteristics.
The screen printing technique has been used to fabricate the pressure sensors on alumina substrate(Al₂O₃). Thick film capacitive of strain sensing characteristics are reported and dielectric paste based on (Ti+Ba) materials. The electric property of dielectric paste has been studied and exhibit good property with good gage factor comparable to piezoresistive strain gage. New piezocapacitive strain sensor was designed and tested. The output of capacitive value was good characteristics.
목차
Abstract
I. 서론
II. 본론
3. 시험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
참고문헌 (0)
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