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권이세 (충북대학교) 최성진 (한국에너지기술연구원) 송희은 (한국에너지기술연구원) 박성은 (한국에너지기술연구원) 정경택 (한국에너지기술연구원) 김가현 (충북대학교) 이재선 (한국에너지기술연구원) 강민구 (한국에너지기술연구원)
저널정보
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2021년도 춘계학술발표대회 [초록집]
발행연도
2021.5
수록면
195 - 195 (1page)

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p-type polysilicon/oxide/n-type c-Si/oxide/n-type polysilicon 구조를 갖는 양면 n-TOPCon 태양전지에서 p-type polysilicon 층을 에미터로써 사용된다. 그러므로 붕소의 확산은 터널링 효과 뿐만 아니라 내부 전계 효과로 작용한다. 하지만 붕소는 산화막에서 결함으로 작용할 수 있을 수 있다. 이러한 결함을 줄이고 내부 전계 효과의 얻기 위해서 붕소의 확산 농도가 중요하다. p-type polysilicon의 붕소 농도가 1E20/㎤일 때, 산화막 1.2 nm, 800 ℃ 열처리에서 p-type polysilicon의 implied ... 전체 초록 보기

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