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저자정보
박종휘 (한양대학교) Simon S. Park (캘거리대학교) 김학성 (한양대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 재료 및 파괴부문 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
124 - 124 (1page)

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본 연구에서는 산화 그래핀의 백색광 조사 공정을 통해 유연한 저항 메모리를 형성했습니다 [1-2]. 저항 메모리의 하부 전극은 유연한 투명 폴리이미드 기판에 구리를 증착 공정을 이용하여 형성하였습니다. GO 박막은 구리로 형성된 하부 전극 위에 증류수와 에탄올로 이루어진 산화 그래핀 용액의 스핀 코팅 방법을 통해 제작되었습니다. 산화 그래핀은 광 조사 조건 (즉, 펄스 지속 시간, 조사 에너지)의 최적화를 통해 스위칭 특성을 가지게 됩니다. 광 조사 공정을 진행한 그래핀 층에 알루미늄의 증착을 통해 상부 전극을 형성했습니다. 저항 메모리의 스 ... 전체 초록 보기

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