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김민욱 (서울과학기술대학교) 노현찬 (서울과학기술대학교) 이우승 (서울과학기술대학교) 손현지 (서울과학기술대학교) 김혜인 (서울과학기술대학교) 김광준 (서울과학기술대학교) 정은창 (서울과학기술대학교) 한인희 (서울과학기술대학교) 박재원 (서울과학기술대학교) 옥종걸 (서울과학기술대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
498 - 498 (1page)

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금속 마이크로-나노 패턴 구조(Metal Micro-and Nanopattern Structure, MNPs)는 투명 전극, 센서, 플라즈모닉 플랫폼과 같은 다기능성 장치에 적용이 용이한 시스템 중 하나다. MNPs 제조의 일반적인 주요 단계는 진공 증착, 포토리소그래피, 에칭과 같은 복잡하고 고진공, 고비용의 단계를 수반한다. 또한 대면적화 및 유연 기판 적용에 대한 본질적인 한계를 가지며 상기 공정들로 제작된 MNPs는 양각의 패턴 구조를 가져 긁힘과 같은 외부 자극과 균열 및 박리와 같은 열화로 인해 내구성이 떨어진다. 이에 대하여 본 연구는 유연 기판 상에 고내구성의 MNPs를 보다 쉽고 효율적으로 제조하기 위한 Solution-processable Electrode Embedding in Dynamically Inscribed Nanopattern (SPEEDIN) 기술을 제시한다. SPEEDIN의 공정 절차는 Dynamic Na ... 전체 초록 보기

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