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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.5
- 수록면
- 458 - 458 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (4)
2021
Fabrication of Salvinia-inspired Surfaces for Hydrodynamic Drag Reduction Using Capillary Force Induced Clustering
M. S. Kim
,
S. H. Yoo
,
G. H. Kim
외 1명
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021.11
학술대회자료
Fabrication of Hierarchical Three-Dimensional Structures Using Capillary Force-Induced Clustering of Micropillars
M. S. Kim
,
S. H. Yoo
,
M. K. Kwak
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021.05
학술대회자료
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In the photolithography process for micro/nano-scale fabrication, one of the most common causes of defects is the collapse of the structure due to the capillary force of the developer solution. If this phenomenon, often referred to as capillary force-induced clustering (CFIC), is utilized properly, uniformly clustered patterns that are difficult to fabricate with conventional lithographic methods can be prepared easily. For this, it is necessary to design an appropriate structure considering various factors such as structural stability, elastic resilience, and capillary interaction force of the soluti ... 전체 초록 보기
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