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양대열 (연세대학교) 장재연 (연세대학교) 김창욱 (연세대학교) 홍세욱 (SK하이닉스)
저널정보
한국경영과학회 한국경영과학회 학술대회논문집 한국경영과학회 2021년 춘계 공동학술대회 논문집 [2개 학회 공동주최]
발행연도
2021.6
수록면
5,744 - 5,774 (31page)

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2021

플라즈마 에칭의 빛 방출 분석(OES) 데이터를 활용한 가상계측 모델링 프레임워크
양대열 ,  장재연 ,  김창욱 외 1명 한국경영과학회 학술대회논문집 2021.06 학술대회자료
플라즈마 에칭의 빛 방출 분석(OES) 데이터를 활용한 가상계측 모델링 프레임워크
양대열 ,  장재연 ,  김창욱 외 1명 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2021.06 학술대회자료

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