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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.4
- 수록면
- 115 - 115 (1page)
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In this work, we offer to fabricate a micro-structure array of cylindrical pillar with donut-shaped tip, which has two functions of microchamber and omniphobic properties at once. By using MEMS process, we applied photo lithography, deep reactive etching and advantage of footing effect to fabricate cylindrical pillar with donut-shaped tip. Because of donut-shaped tip formed inside and outside cylindrical pillar, this architecture array has omniphobic properties without chemical surface treatment. In addition, the formation of a polymer roof which was induced by micr ... 전체 초록 보기
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