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안경회 (옥토끼이미징) 박찬혁 (고려대학교)
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발행연도
2021.4
수록면
112 - 113 (2page)

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본 연구는 플라즈마를 발생시켜 피처리물에 대하여 소정의 처리를 하는 장치에 있어서, 보다 상세하게는 스퍼터건을 중심으로 360°의 범위에서 전방위적으로 스퍼터링할 수 있는 플라즈마 처리장치에 관한 것이다. 본 연구에 의한 플라즈마 처리장치는 챔버의 내부에 스퍼터 건이 구비되는 플라즈마 처리장치에 ... 전체 초록 보기

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