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저자정보
조성일 (강원대학교) 이병주 (강원대학교) 정구환 (강원대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
94 - 94 (1page)

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본 연구에서는 수평형 유도 결합 플라즈마(ICP) 시스템으로 그래핀 도핑을 실시함에 있어서 플라즈마의 광학적 진단을 수행하여 그 결과를 바탕으로 무결함 도핑을 실현하고자 하였다. 그래핀은 기계적 박리법을 통해 준비하였으며, ICP 시스템은 1인치 직경의 쿼츠 튜브를 반응기로 이용하였다. 무결함 도 ... 전체 초록 보기
#수평형 ICP 플라즈마 #OES #그래핀 #무결함 #질소도핑

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