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김대웅 (한국기계연구원) 강우석 (한국기계연구원) 허민 (한국기계연구원) 김형우 (한국기계연구원) 이대훈 (한국기계연구원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
10 - 11 (2page)

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대기압 플라즈마 방전은 저진공 플라즈마 방전과 달리 진공시스템과 같은 복잡한 장치의 도움없이 대기중에서 발생한다. 대기 그 자체 또는, 아르곤, 헬륨 등의 기체와 이를 공급하는 유로, DC, RF 등 다양한 주파수의 전력소스와 바늘전극, 유전체격벽전극 등의 전극을 이용하면 수월하게 방전시킬 수 있는 ... 전체 초록 보기
#Atmospheric pressure plasma source #industrial application #bio-medical application

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