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저자정보
이승재 (성균관대학교) 김은미 (성균관대학교) Vinit Kanade (성균관대학교) Pengzhan Liu (성균관대학교) 금승호 (SK 실트론) 임홍강 (SK 실트론) 김태성 (성균관대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2020년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2020.6
수록면
319 - 323 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2021

전기적 저압 임팩터를 이용한 Si 에피택시 챔버 내 입자 측정 연구
이승재 ,  조유진 ,  김태성 대한기계학회 춘추학술대회 2021.05 학술대회자료

2020

전기적 저압 임팩터를 이용한 에피택셜 챔버 내 입자 측정 및 분석
이승재 ,  김은미 ,  Vinit Kanade 외 4명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2020.06 학술대회자료

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The purpose of this study was to measure and analyze the residual particles in the epitaxial growth chamber that can affect the process and the particles generated during the PM(preventive maintenance), which is the process of inspecting and replacing equipment parts. First, we devised a method using an ELPI(electric low pressure impactor) that can conduct real-time measurement of particle number, mass concentration and enable further analysis of chemical component by collecting the particles on the impactor substrates. Based on the result, it was confirmed that there are few particles in chamber before preventive maintenance and it is possible that amount of particles were generated or flowed from outside during the preventive maintenance work. Additionally, the components of the collected particles were analyzed through SEM-EDS analysis.
#Electrical low pressure impactor(전기적 저압 임팩터) #Epitaxial growth(에피택셜 성장) #Preventive maintenance(예방보전) #Particle measurement(입자 측정)

목차

Abstract
1. 서론
2. 연구방법
3. 연구 결과
4. 결론
References

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