MEMS 기반 필라 어레이를 이용한 전기식 나노입자 크기분포 측정

홍의선; 김용준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍의선 (연세대학교) 김용준 (연세대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2018년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2018.10

수록면: 193 - 193 (1page)

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#Electrical nanoparticle measurement #Microelectromechanical system(MEMS) #Pillar array

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홍의선

소속기관 연세대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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김용준

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

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