Concave 형 바닥부를 가지는 반도체 제조공정용 특수가스 압력용기의 형상설계에 관한 연구

박건영; 이창환; 김철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박건영 (부산대학교) 이창환 (부산대학교) 김철 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2020년도 통합학술대회 논문집

발행연도: 2020.9

수록면: 375 - 375 (1page)

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