지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
반도체 기술은 수십년간 발전을 거듭하며, 현재 10 nm 이하의 초미세 공정이 가능하게 되었다. 반도체 소자를 이루는 많은 요소 중에서 소스/드레인 컨택영역은 소자의 성능에 직결되기 때문에 단연 중요한 단위 공정 기술이다. 그렇기에 컨택에 대한 많은 기술의 변화와 발전이 있었지만, 초미세화로 인해 기술 발전이 더뎌지고 있는 현재의 난관을 극복하기 위해 새로운 기술이 필요한 시점이다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 평면 구조의 MOSFET 소자에서의 컨택 기술
3. 3차원 구조의 FinFET 소자에서의 컨택 기술 및 향후 발전 방향
4. 결론
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
시스템 반도체 소자 기술
전자공학회지
2015 .07
-
Metal-Double Interlayer-Semiconductor Contact Structure for Contact Resistivity Reduction and Thermal Stability for the Application to Monolithic 3D Integration
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
-
5 nm 급 반도체 배선 공정 기술 개발
마이크로전자 및 패키징학회지
2016 .12
-
반도체 소자 제조 기술 동향
전자공학회지
2015 .01
-
p-type Si Source/Drain Contact Resistivity Reduction Technique through Schottky Barrier Height Modulation with Ultrathin Al₂O₃ interlayer
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .07
-
비지도학습을 이용한 지능형 반도체 기술분석
한국지능시스템학회 논문지
2019 .12
-
차세대 반도체 소자 기술
전자공학회지
2015 .07
-
기술적 성능향상 및 경제성을 고려한 기술 확산(Technology Diffusion) 추세에 대한 연구 : 32nm, 22nm, 14nm 로직 반도체의 기술진화 사례
한국산학기술학회 논문지
2017 .02
-
어플라이드 머티어리얼즈_“2nm 초미세공정서 최적의 효율 발휘하는 기술”
전자기술
2024 .11
-
고효율 GaN 전력반도체 소자 기술의 현황과 발전
대한전자공학회 학술대회
2022 .11
-
극한 환경용 반도체 기술 동향
[ETRI] 전자통신동향분석
2018 .12
-
[반도체 산업 동향] 반도체 산업 지배하는 초미세 공정, 기업들의 생존 전략은?
전자기술
2025 .04
-
전력용 반도체 소자의 접합 마감 기술
전기의세계
2021 .12
-
최신 반도체 공정기술
전자공학회지
2015 .01
-
반도체 메모리소자의 이해와 활용
정보과학회지
2018 .06
-
과학기술정보통신부 - 반도체 강국 이끌 반도체 핵심 인력양성 추진
전자기술
2022 .07
-
반도체 장비 시장_거세지는 美 반도체 규제 바람, 반도체 산업 지형도 바뀌나?
전자기술
2023 .03
-
지능형 반도체 산업동향
한국통신학회 학술대회논문집
2022 .06
-
유연 에너지소자 적용기술 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
-
소스 및 드레인 전극 재료에 따른 비정질 InGaZnO 박막 트랜지스터의 소자 열화
한국정보통신학회논문지
2017 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2020-560-001579354