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자료유형
학술저널
저자정보
박종용 (한국과학기술연구원, 박막재료연구센터) 최형욱 (한국과학기술연구원, 박막재료연구센터) 정연식 (한국과학기술연구원, 박막재료연구센터) 최원국 (한국과학기술연구원, 박막재료연구센터)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제15권 제6호
발행연도
2005.1
수록면
361 - 369 (9page)

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InP(100) crystal surface was irradiated by ion beams with low energy $(180\~225\;eV)$ and high flux $(\~10^{15}/cm^2/s)$, Self-organization process induced by ion beam was investigated by examining nano structures formed during ion beam sputtering. As an ion source, an electrostatic closed electron Hall drift thruster with a broad beam size was used. While the incident angle $(\theta)$, ion flux (J), and ion fluence $(\phi)$ were changed and InP crystal was rotated, cone-like, ripple, and anistropic nanostrucuture formed on the surface were analyzed by an atomic force microscope. The wavelength of the ripple is about 40 nm smaller than ever reported values and depends on the ion flux as $\lambda{\propto}J^{-1/2}$, which is coincident with the B-H model. As the incident angle is varied, the root mean square of the surface roughness slightly increases up to the critical angle but suddenly decreases due to the decrease of sputtering yield. By the rotation of the sample, the formation of nano dots with the size of $95\~260\;nm$ is clearly observed.
#Closed electron Hall drift thruster #surface energy #surface modification by low energy ion beam #x-ray photoelectron #nanostructure

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