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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이낙규 (한국생산기술연구원) 최석우 (한국생산기술연구원) 임성주 (한국생산기술연구원) 최태훈 (한국생산기술연구원) 이형욱 (한국생산기술연구원) 나경환 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제3권 제2호
발행연도
2004.1
수록면
27 - 33 (7page)

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This paper is concerned with development of a micro tensile testing machine for optical functional materials such as single or poly crystal silicon and nickel film. Two micro tensile testers have been developed for various types of materials and dimensions. One of the testers is actuated by a PZT and the other is actuated by a servo motor for a precise displacement control. The specifications of PZT actuated micro tensile tester developed are as follows: the volumetric size of tester is desktop sized of 710$\times$200$\times$270 $mm^3$; the minimum load capacity and the load resolution in the load cell of 1N are 3 mN and 0.1 mN respectively; the full stroke and the stoke resolution of piezoelectric actuator are 1 mm and 10nm respectively. A special automatic specimen installing equipment is applied in order to prevent unexpected deformation and misalignment of specimens during handling of specimen for testing.
#Micro Tensile Tester #Piezoelectric Actuation #Servo Motor Actuation #Automatic Specimen Setting System

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