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저자정보
Chang, Dong-Pil (Satellite Communications RF Technology Team, ETRI) Yom, In-Bok (Satellite Communications RF Technology Team, ETRI) Kwak, Chang-Soo (Satellite Communications RF Technology Team, ETRI) Oh, Seung-Hyeup (Electrical Engineering Department, Chung-nam National University)
저널정보
통신위성우주산업연구회 Joint Conference on Satellite Communications Joint Conference on Satellite Communications 2006년
발행연도
2006.1
수록면
151 - 157 (7page)

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본 논문에서는 통신해양기상위성 Ka대역 위성통신중계기에 사용하기 위해 개발한 MMIC의 인증 시험에 대해 다루었다. 통신해양기상위성의 통신중계기에 사용될 Ka 대역 능동부품은 총 12 종의 MMIC를 이용하여 개발되었다. 12 종의 MMIC 중에는 저잡음 증폭기, 중전력 증폭기, 주파수 혼합기, 주파수 체배기, RF 스위치, 그리고 감쇄기 기능을 갖는 MMIC 들이 포함되어 있다. MMIC 의 제조 공정은 미국 NGST사의 $0.15 \mum$ GaAs pHEMT 공정을 이용하였다. 이 공정은 우주환경에서 사용하는 MMIC를 생산할수 이는 공정으로 인증되어있으며, 지난 수십년간 많은 관련 경험을 가지고 있다. 제작된 MMIC 의 우주환경 인증을 위한 검사와 시험이 수행되었다. 제작된 모든 MMIC 에 대하여 Visual Inspection을 수행하였으며, Wafer Lot Acceptance 판정을 위하여 SEM(Scanning Electron Microscope) Inspection을 수행하였다. MMIC의 동작 수명을 보증하기 위해 Test Fixture를 제작하여 $125^{\circ}C$의 온도에서 240시간 동안의 Burn-in 시험과 1000 시간 동안의 가속 수명 시험이 수행되었다. MMIC 부품의 성능 저하 또는 수명 단축의 가장 큰 요인인 pHEMT 의 채널온도 상승을 확인하기 위하여 적외선 온도 측정 시험과 유한요소법을 이용한 pHEMT의 채널 온도 해석을 수행하였다.

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