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학술저널
저자정보
구경진 (연세대학교 기계공학과) 황병하 (연세대학교 금속시스템공학과) 김대은 (연세대학교 기계공학과) 백홍구 (연세대학교 기계공학과)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제3권 제3호
발행연도
2007.1
수록면
129 - 134 (6page)

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Boron nitride (BN) is a highly attractive material for wear resistant applications of mechanical components. BN is super hard and it is the second hardest of all known materials. It also has a high thermal stability, high abrasive wear resistance, and in contrast to diamond, BN does not react with ferrous materials. The motivation of this work is to investigate the tribological properties of BN for potential applications in ultra-precision components for data storage, printing, and other precision devices. In this work, the wear characteristics of BN thin films deposited on DLC or Ti buffer layer with silicon substrate using RF-magnetron sputtering technique were analyzed. Wear tests were conducted by using a pin-on-disk type tester and the wear tracks were measured with a surface profiler. Experimental results showed that wear characteristics were dependent on the sputtering conditions and buffer layer. Particularly, BN coated on DLC layer showed better wear resistant behavior. The range of the wear rates for the BN films tested in this work was about 20 to $100{\mu}m^3$/cycle.
#질화붕소 #다이아몬드상 탄소 #마찰 #회전식 마찰 시험기 #마모

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