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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
Jang, Seunghyun (Department of Chemistry, University of Wisconsin)
저널정보
조선대학교 기초과학연구원 조선자연과학논문집 조선자연과학논문집 제4권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
1 - 6 (6page)

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The properties of porous silicon, such as substrate properties, porosity, thickness, refractive index, surface area, and optical properties of porous silicon were reviewed. Some properties, such as porosity, refractive index, thickness, pore diameter, multi-structures, and optical properties, are strongly dependent on the anodization process parameters. These parameters include HF concentration, current density, anodization time, and silicon wafer type and resistivity.

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