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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최석문 (삼성전기 중앙연구소) 박성준 (충주대학교 기계공학과)
저널정보
한국교통대학교 융복합기술연구소 융ㆍ복합기술연구소 논문집 융ㆍ복합기술연구소 논문집 제1권 제2호
발행연도
2011.1
수록면
16 - 24 (9page)

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The angular electrostatic microactuator using skewed electrode array (SEA) scheme was proposed. The moving and fixed electrodes are arranged to make the driving force perpendicular to the rotating moment of arm. By changing the electrode overlap length, the magnitude of electrostatic force and stable displacement will be changed. In order to optimize the design, electrostatic FE analysis were carried out and the empirical force model was established for SEA. Simulation was performed to make the comparison between conventional actuators and SEA. The proposed SEA generates actuating torque 2 times greater than a comb-drive and stable actuator displacement 40% greater than a parallel plate type actuator. The angular electrostatic microactuator using skewed SEA scheme was designed and fabricated using SoG process.
#경사전극배열 #미소구동부 #하드디스크

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