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하주환 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) 이윤철 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) 조은정 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) 이영식 ([주]대성하이텍) 이재권 ([주]대성하이텍) 김광선 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제17권 제1호
발행연도
2018.1
수록면
66 - 70 (5page)

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This paper is about the analysis on the vibration characteristic of tooling units on the precision bed in turning and hobbing automatic lathe for precision machining. An automatic lathe operating at about 12,000 RPM is a critical factor in the self-weight stress and deformation of the bed. Especially, the resonance frequency should be grasped in advance to prevent abnormal vibration that may occur during processing. If the wrong bed is used, the resonant frequency can have a fatal influence on the precision machining and increase the defective rate of precision machined parts such as semiconductor parts. In this paper, vibration characteristics were evaluated through static load and resonance frequency analysis of automatic lathe bed. As a result, the maximum stress was 14.52 MPa, the maximum deformation amount was $12.15{\mu}m$, and the natural frequency was 189.43 Hz. The resonance frequency was calculated as 500 Hz, and the stability was confirmed by being in the range of 200 Hz or more, which is the processing condition.

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