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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이윤지 (명지대학교 공과대학 전자공학과) 윤학재 (명지대학교 공과대학 전자공학과) 박효은 (명지대학교 공과대학 전자공학과) 홍상진 (명지대학교 공과대학 전자공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제18권 제4호
발행연도
2019.1
수록면
92 - 95 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

SCADA 시스템을 위한 반도체 장비 전자제어장치 설계
이윤지 전자공학과 2020.01 학위논문

2019

반도체 장비상태 모니터링을 위한 SCADA 시스템 구현
이윤지 ,  윤학재 ,  박효은 외 1명 반도체디스플레이기술학회지 2019.01 학술저널

초록· 키워드

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Automation control and the data for control of industrial equipment for the diagnosis and prediction is a key to success in the 4th industrial revolution. It increases process efficiency and productivity through data collection, realtime monitoring, and the data analysis. However, university and research environment are still suffering from logging the data in manual way, and we occasionally loss the equipment data logging due to the lack of automatic data logging system. State variable presents the current condition of the equipment operation which is closely related to process result, and it is valuable to monitor and analyze the data for the equipment health monitoring. In this paper, we demonstrate the collection of equipment state variable data via programmable logic controller (PLC) and the visualization of the collected data over the Web access supervisory control and data acquisition (SCADA). Test vehicle for the implementation of the suggested SCADA system is a relay switched physical vapor deposition system in the university environment.
#SCADA #PLC #Equipment condition monitoring #State variables

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참고문헌 (5)

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H. D. Song / 2016 / Analysis of Industry 4.0 Standard and Standardization of Smart Factory in Korea / Journal of Standards, Certification and Safety 6(4):47~58 google schola 박종필 / 2017 / 인더스트리 4.0시대의 스마트 팩토리 성공 사례 분석: 국내 대·중·소기업을 대상으로 / 디지털융복합연구 15(5):107~115 dbpia 김현석 / 2018 / 산업 제어 시스템 보안을 위한 패킷 분석 기반 비정상행위 탐지 시스템 구현 / 한국산학기술학회논문지 19(4):47~56 dbpia 조윤상 / 2018 / 반도체 제조공정 내 불량설비 시퀀스 탐지 / 대한산업공학회지 44(5):325~333 dbpia 선복근 / 2005 / PLC 모니터링을 위한 임베디드 HMI 시스템의 개발에 관한 연구 / 전자공학회논문지 - CI 42(4):219~228 dbpia

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