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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
전성훈 (공주대학교 기계자동차공학부) 이응기 (공주대학교 기계자동차공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제9권 제3호
발행연도
2010.1
수록면
11 - 16 (6page)

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The performance of an OLED fabrication system strongly depends on the design of the evaporation cell-source. Therefore, necessity of the preceding study for cell source development of new concept is becoming increase. A development plan to substitute for experiment is applied as use simulation. In this study interpret behavior of a particle through DSMC techniques, and in this paper presenting a form to make so as to have better performance of the pointtype cell source which had a nozzle.
#OLED #Organic light-emitting device) #vacuum evaporation #thin film #DSMC #Direct simulation monte carlo)

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