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자료유형
학술저널
저자정보
천완희 (한국과학기술원 기계항공시스템학부 나노옵토메카트로닉스 연구실) 이승우 (한국과학기술원 기계항공시스템학부 나노옵토메카트로닉스 연구실) 안진우 (한국과학기술원 기계항공시스템학부 나노옵토메카트로닉스 연구실) 권대갑 (한국과학기술원 기계항공시스템학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
11 - 16 (6page)

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Confocal scanning microscopy is a widely used technique for three dimensional measurements because it is characterized by high resolution, high SNR and depth discrimination. Generally an image is generated by moving one optical probe that satisfies the confocal condition on the specimen. Measurement speed is limited by movement speed of the optical probe; scanning speed. To improve measurement speed we increase the number of optical probes. Specimen region to scan is divided by optical probes. Multi-point information each optical probe points to can be obtained simultaneously. Therefore image acquisition speed is increased in proportion to the number of optical probes. And multiple optical probes from red, green and blue laser sources can be used for color imaging and image quality, i.e., contrast, is improved by adding color information by this way. To conclude, this technique contributes to the improvement of measurement speed and image quality.
#Confocal scanning microscopy #three dimensional measurement #high speed measurement #color imaging

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