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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2017.1
- 수록면
- 98 - 105 (8page)
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In the display industry, the residual vibration of the transfer robot can increase the process time and cause the breakage of the glass substrate, which is critical to productivity of display manufacturing. In this paper, the natural frequencies of transfer robot are analyzed by finite element method. On the basis of the analyzed data, we investigated the response characteristics of input shaping control with or without the glass presence on the hand of the transfer robot using MATLAB program, and compared with the current response characteristics of input shaping control applied to the industry. Based on this, we suggest an optimal residual vibration control method for the practical application in display industry.
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Smith, O.J.M. / 1957 / Posicast control of damped oscillatory systems / Proceedings of the IRE 45:1249~1255
Singer, N.C. / 1990 / Preshaping command inputs to reduce system vibration / Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control 112:76~82
YUN, S.K / 2000 / Development of negative input shaping technique for MIMO system / Journal of Control, Automation and Systems Engineering 6(12):1045~1052
YIM, J.C / 2005 / Reduction of residual vibration in wafer positioning system using input shaping / Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering :559~563
KIM, S.K / 2005 / A study on vibration reduction of LCD transfer robot arms / Korea Automatic Control Conference :779~784
Singer, N.C. / 1990 / Preshaping command inputs to reduce system vibration / Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control 112:76~82
YUN, S.K / 2000 / Development of negative input shaping technique for MIMO system / Journal of Control, Automation and Systems Engineering 6(12):1045~1052
YIM, J.C / 2005 / Reduction of residual vibration in wafer positioning system using input shaping / Transactions of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering :559~563
KIM, S.K / 2005 / A study on vibration reduction of LCD transfer robot arms / Korea Automatic Control Conference :779~784
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