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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김두용 (순천향대학교 전자공학과) 조현찬 (한국기술교육대학교 전자공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제12권 제2호
발행연도
2013.1
수록면
39 - 43 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2019

사물인터넷을 이용한 반도체 장비 통신 프로토콜 모델
김두용 ,  김기완 반도체디스플레이기술학회지 2019.01 학술저널

2013

직접 확산 방식을 이용한 반도체 장비 통신 프로토콜 구현
김두용 ,  조현찬 반도체디스플레이기술학회지 2013.01 학술저널

2012

데이터 트래픽의 우선 순위를 갖는 반도체 장비 통신 프로토콜 구현
김두용 ,  김기완 ,  조현찬 반도체디스플레이기술학회지 2012.01 학술저널

2006

반도체 통신프로토콜 및 스풀링 시스템 구현에 관한 연구
김두용 ,  반웅 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료
반도체및디스플레이장비 통신프로토콜 구현에 관한 연구
김두용 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The semiconductor equipments generate necessary data through communication networks for the effective manufacturing processes and automation of semiconductor equipments. For transferring data between semiconductor equipments and sending data to monitor equipments, several standards for communication protocols have been proposed. Communication networks in semiconductor manufacturing systems will transmit a lot of data traffic, which can be vulnerable in data delay and network failure. Therefore, it is required that data traffic need to be distributed. To accomplish this objective, we recommend the use of a redundant and valuable communication path which is constructed by a wireless sensor network. In this paper, the directed diffusion method for wireless sensor networking is suggested for networking semiconductor equipments. It is shown that how the directed diffusion is employed to connect semiconductor equipments. Also, we show how to implement the SECS of semiconductor equipments communication protocols based on the directed diffusion.
#Directed Diffusion #SECS #Semiconductor Equipment Communication Protocol

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1999 / SEMI Equipment Communication Standard Message 1 Transfer(SECS-I) / SEMI E4-0699 google schola 2002 / SEMI Equipment Communication Standard Message 2 Content(SECS-Ⅱ) / SEMI E5-1102 google schola 2000 / Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment / SEMI E30-1000 google schola 2002 / High-Speed SECS Message Service(HSMS) Generic Services SEMI E37-0702 google schola http://www.cimetrix.com google schola

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