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학술저널
저자정보
정두원 (한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학부) 서민석 ([주]YEST) 김광선 (한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제9권 제4호
발행연도
2010.1
수록면
71 - 76 (6page)

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According to recent changes in industry for semiconductor devices, a low-temperature treatment has become a necessity. These changes relate to size refinement and the development of new materials. While variation in cooling efficiency does not affect the yield when using a high-temperature treatment, uniform cooling efficiency is necessary avoid "inconsistencies/bends" in low temperature treatments. However it is difficult to increase temperature stabilization in low temperature treatments. In this paper, using CFD (Computer Fluid Dynamics), we analyze and manipulate the design and input of the low-temperature system to attempt to control for temperature variations within the quartz tube, of which airflow appears to be a predominant factor. This simulation includes variable inputs such as airflow rate, head pressure, and design manipulations in the S.C.U. (Super Cooling Unit).
#Semiconductor #Furnace #Low Temperature #CFD

목차

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D. S. Han / 2008 / A Numerical Study on Prediction of Internal Temperature in Electronic Melting Furnace with Thermal Characteristics Effect / Proceedings of the KSME 2008 Fall Annual Meeting, KSME 2008R2048 :514~522 google schola D. I. Seol / 2007 / Heat Transfer Analysis in High Efficiency Electric Melting Furnace / Proceedings of the KSME 2008 Fall Annual Meeting :1626~1631 google schola 진홍종 / 2008 / 고로하부 액체유동에 대한 수치해석 사례 - 냉간유동 / 한국연소학회지 13(2):33~41 google schola E. S. Jeong / 2008 / A study of Optimal Distribution of Gas Temperature in Directly-Fired Reheating Furnace / Proceedings of the KSME 2008 Fall Annual Meeting :2122~2125 google schola J. Wang / 2002 / Real-Time Furnace Modeling and Diagnostics / IEEE Transactions on semiconductor manufacturing 15(4):393~402 google schola

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