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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
홍성도 (한국기술교육대학교) 허용정 (한국기술교육대학교)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제11권 제2호
발행연도
2012.1
수록면
39 - 43 (5page)

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This paper presents a study on the design of a pulling module for silicon ingot and an apparatus of manufacturing silicon single crystal ingot using the same method. The pulling module is conceptually designed by using TRIZ. Czochralski method(CZ) is representative way to manufacture single crystal ingot for wafers. The seed can be broken by high tension which is caused by large weight of a silicon ingot. The solution of this problem has been derived using 6SC(6 steps creativity)TRIZ. The pulling module is actuated by DC motor and rollers. High tension in the seed is removed by the rotate-elevate motion of rollers in the pulling module. A rubber belt is included in the rotate-elevate mechanism for increasing friction between rollers and silicon ingot.
#Czochralski method #CZ) #TRIZ #6SC #Silicon Ingot #Contradiction #Tension

목차

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한국반도체연구조합 / 2008 / 반도체로 움직이는 세상 google schola 주대영 / 2007 / 반도체산업의 2020비전과 전략 google schola 김효준 / 2004 / 생각의 창의성 TRIZ / 지혜 google schola 김호종 / 2006 / 6단계 창의성을 적용한 실용트리즈 / 두양사 google schola 임사환 / 2011 / 6SC와 Q-TRIZ를 응용한 RPS-TRIZ :635 google schola

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