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학술저널
저자정보
황규철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 김대희 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 오현철 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 임지혜 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 김영철 (한국기술교육대학교 신소재공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
45 - 48 (4page)

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An epitaxial $\beta-FeSi_2$ structure on Si (001) substrate was calculated by using density functional theory (DFT). Unit cell of orthorhombic $\beta-FeSi_2$ and $\sqrt{2}\times\sqrt{2}\times2$ supercell were calculated to find the energetically favorable structures first. The $\chi$- and y-direction axes of $\beta-FeSi_2$ were changed into y- and z-direction axes to match its structure with that of Si, to minimize the lattice mismatch between $\beta-FeSi_2$ and Si. Distance between the Si (001) surface and the $\beta-FeSi_2$ surface was varied to find an optimum distance between them, resulting in 0.825 $\AA$.
#$beta-FeSi_2$ #orthorhombic structure #interface #DFT #VASP

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