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본 연구에서는 micro-contact printing을 통하여 니오븀 호일 표면 위에 균일한 에칭 pits를 형성하였다. 균일한 보호층을 형성하고자 전해연마의 효과를 확인하였으며, 기존의 $O_2$ 플라즈마 공정 없이 손쉽게 균일한 에칭 pits를 형성시킬 수 있는 조건을 확인하였다. 메탄올 혼합 전해질을 사용하여 10 min 동안 에칭을 진행한 결과 니오븀 호일 표면 위에 지름과 간격이 각각 $10{\mu}m$와 $5{\mu}m$로 잘 정렬된 에칭 pits를 관찰하였다.
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참고문헌 (31)
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D. Zhu / 2009 / Electrochemical micromachining of microstructures of micro hole and dimple array / CIRP Ann. -Manuf. Techn 58:177
B. H. Kim / 2005 / Micro Electrochemical machining of 3D micro structure using dilute sulfuric acid / CIRP Ann. -Manuf. Techn 54:191
M. Datta / 2000 / Fundamental aspects and applications of electrochemical microfabrication / Electrochem. Acta 45:2535
A. C. West / 1992 / Shape changes during through-mask electrochemical micromachining of thin metal films / J. Electrochem. Soc 139:499
M. Datta / 1995 / Fabrication of an array of precision nozzles by through-mask electrochemical micromachining / J. Electrochem. Soc 142:3801
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A. C. West / 1992 / Shape changes during through-mask electrochemical micromachining of thin metal films / J. Electrochem. Soc 139:499
M. Datta / 1995 / Fabrication of an array of precision nozzles by through-mask electrochemical micromachining / J. Electrochem. Soc 142:3801
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