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학술저널
저자정보
임경택 (전남대학교 촉매연구소, 전남대학교 광소재부품연구센터) 김경환 (전남대학교 응용화학공학부, BK21 기능성 나노 신화학소재 사업단) 김경석 (전남대학교 응용화학공학부, BK21 기능성 나노 신화학소재 사업단) 이휘지 (전남대학교 응용화학공학부, BK21 기능성 나노 신화학소재 사업단) 송선정 (전남대학교 응용화학공학부, BK21 기능성 나노 신화학소재 사업단) 손호경 (시드니 공과대학교 환경공학부) 조동련 (전남대학교 촉매연구소, 전남대학교 광소재부품연구센터)
저널정보
한국공업화학회 공업화학 공업화학 제19권 제6호
발행연도
2008.1
수록면
640 - 644 (5page)

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저온 플라스마 공정을 이용하여 알루미늄 표면에 묻은 윤활유를 세정하였다. 아르곤이 혼합된 산소 플라스마를 사용하였으며, 아르곤의 혼합비, 방전전력, negative DC potential 등의 공정변수를 변화시키면서 실험을 수행하였다. 저온 플라스마 세정 후 케이스의 표면을 FTIR과 EDX를 사용하여 분석한 결과 순수 윤활유의 경우 대부분이 20 min 안에 제거되었다. 제거효율은 저온 플라스마 공정조건에 따라 크게 달라졌으며, 산소에 아르곤이 약 30% 혼합된 기체를 사용하여 케이스에 -500 V 이상의 negative DC potential을 걸어주고 300 W로 처리할 때 가장 높은 효율을 보였다. 하지만, 무기물이 함유된 윤활유의 경우에는 어떤 조건에서도 60% 이상의 제거효율을 얻을 수 없었다.
#low temperature plasma #elimination efficiency #discharge power #negative DC potential

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참고문헌 (13)

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R. Sherman / 1999 / Carbon Dioxide Snow Cleaning, in Particles on Surfaces 5&6: Detection, Adhesion and Removal / VSP, 221 google schola 2002 / The Trands of Supply and Depend for the Ozone Depletion Substances / 2002 Technical Seminar for the Replacement of Ozone Depleting Materials, 7 google schola Ministry of Commerce / 1996 / The Law Data Book for Protection of Ozone Layer / Korea Specialty Chemical Industry Association google schola J. H. Bae / 2005 / Prospect / Ind. Chem 8:25 google schola L. Hill / 1999 / Based on a panel presentation at Clean Tech’99 :26 google schola

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