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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김영욱 (영남대학교 공과대학 디스플레이화학공학부) 박무룡 ([주] LG이노텍 생산기술팀) 이형민 (영남대학교 공과대학 디스플레이화학공학부) 박광호 ([주] LG이노텍 생산기술팀) 박진호 (영남대학교 공과대학 디스플레이화학공학부)
저널정보
한국화학공학회 화학공학 화학공학 제48권 제2호
발행연도
2010.1
수록면
157 - 163 (7page)

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CRT 용 shadow mask의 생산속도 향상을 위해 첨가제를 투입한 염화제이철 수용액을 개발하였고 이를 shadow mask의 식각속도 향상에 적용하였다. $Fe(ClO_4)_3$ 첨가제를 종래의 식각용액인 염화제이철 수용액에 투입한 결과, shadow mask의 식각속도가 크게 향상되었으며, 이때 첨가제의 농도가 증가할수록 식각속도가 증가함을 알 수 있었다. 또한 첨가제가 투입된 식각용액으로 순수 니켈과 철-니켈 합금(Invar 강)의 식각속도를 비교한 결과, 대부분의 공정조건에서 둘 사이의 식각속도 차이가 작음을 알 수 있었고, 이는 첨가제의 투입에 따라 니켈과 철의 식각속도가 모두 향상된 결과로 해석되었다. 첨가제의 주입에 따라 식각속도가 증가하는 이유는, 첨가제 내의 음이온인 $ClO^{4-}$가 염화제이철 수용액 내의 $Cl^-$에 비해 전자를 이동하는 가교로서의 역할이 우수하여 전자를 더 빠르게 이동시킬 수 있기 때문인 것으로 추정된다.
#Etching #Aqueous Ferric Chlroride Solution #Etchant #$Fe #ClO_4)_3$ #Shadow Mask #Invar Steel

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