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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
오해관 (아주대학교) 윤성진 (국방과학연구소) 이기근 (아주대학교) 왕웬 (아주대학교) 양상식 (아주대학교)
저널정보
한국군사과학기술학회 한국군사과학기술학회지 한국군사과학기술학회지 제12권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
106 - 113 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2011

새로운 표면탄성파를 이용한 변형률 센서 개발
오해관 ,  황우진 ,  은경태 외 3명 전기학회논문지 2011.03 학술저널

2010

표면탄성파를 이용한 변형 센서 개발
오해관 ,  좌성훈 ,  양상식 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료
표면탄성파를 이용한 센서 응용 기술 개발
오해관 ,  이기근 ,  양상식 대한전기학회 학술대회 논문집 2010.11 학술대회자료

2009

표면탄성파 기반 센서 제작 및 측정시스템 개발
오해관 ,  이기근 ,  양상식 대한전기학회 학술대회 논문집 2009.11 학술대회자료
표면탄성파를 이용한 자이로스코프 개발
오해관 ,  윤성진 ,  이기근 외 2명 한국군사과학기술학회지 2009.01 학술저널

초록· 키워드

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This paper presents a surface acoustic wave(SAW) micro-electro-mechanical-systems(MEMS) interdigital transducer (IDT) gyroscope with 80MHz central frequency on a $128^{\circ}\;YX\;LiNbO_3$, which is consisted of a two-port SAW resonator, metallic dots and dual delay lines for the sensor and reference oscillators. Reason for using two delay line oscillators is to extract the gyroscope effect by comparing the resonant frequencies between two oscillators and to compensate the temperature effect. Based on the coupling of modes(COM) simulation, an 80MHz two ports SAW resonator and dual delay line were fabricated and characterized by the network analyzer. Obtained sensitivity was $109Hz/deg{\cdot}s^{-1}$ in the angular rate range of $0{\sim}1000deg/s$. Good Linearity and superior directivity were observed.
#코리올리 힘 #표면 탄성파 #자가 발진 #표면탄성파 발진기 #표면탄성파 공진기

목차

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참고문헌 (11)

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M. Hashimoto / 1995 / Silicon Resonant Angular Rate Sensor using Electromagnetic Excitation and Capacitive Detection / Journal of Micromechanics and Microengineering 5:219~225 google schola J. Soderkvist / 1994 / Micromachined Gyroscopes / Sensors and Actuators A 43:65~71 google schola N. Yazdi / 1998 / Michromachined Inertial Sensors / Proc. IEEE 86:1640~1659 google schola W. Geiger / 1998 / A New Sillcon Rate Gyroscope Systems / The IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical System :615~620 google schola K. Maenaka / 1994 / A Study of Silicom Angular Rate Sensors using Anisotropic Etching Technology / Sensors and Actuators A 43:72~77 google schola

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