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자료유형
학술저널
저자정보
박태순 (포항공과대학교 기계공학과) 김동식 (포항공과대학교 기계공학과)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제17권 제1호
발행연도
2014.1
수록면
13 - 16 (4page)

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Indium Tin Oxide (ITO) has been used widely for transparent conducting thin films. In this work, the feasibility of a laser sintering process to fabricate ITO thin films on flexible substrates is examined. Nanoparticles of ~10 nm were spin coated on a Si wafer and then sintered by a KrF excimer laser. The sintered structure was characterized by scanning electron microscopy. Polycrystalline structures were fabricated by the process without thermally damaging the substrate. The electrical resistivity of the film was reduced to ~ 1/1000 of the initial value. This work demonstrates that nanosecond laser sintering of ITO particles can be a useful tool to fabricate ITO films on various flexible substrates.
#인듐주석산화물 #레이저소결 #나노입자 #열적손상 #박막

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