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저자정보
최훈국 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 유동윤 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 김영식 ([주] PPI3.전남대학교) 김수용 ([주] PPI3.전남대학교) 김완춘 ([주] PPI3.전남대학교) 김진봉 ([주] PPI3.전남대학교)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제18권 제1호
발행연도
2015.1
수록면
7 - 11 (5page)

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In this paper, micro trench structure is fabricated by femtosecond laser for inserting optical reflecting wavelength filter in planar waveguide. The width and depth of the trench is controlled by femtosecond laser machining condition. Also, large scale of single channel with 500um and 1000um on silica plate is fabricated by femtosecond laser, and roughness of the channel surface is polished by $CO_2$ laser for the insertion of the filter. Then, the characteristic of the planar waveguide inserted the filter is verified.
#펨토초 레이저 #트렌치 #채널 #도파로 #파장 필터 #$CO_2$ 레이저

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