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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
이석희 (광주과학기술원 기전공학부) 최장희 (광주과학기술원 기전공학부) 정성호 (광주과학기술원 기전공학부)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제17권 제4호
발행연도
2014.1
수록면
7 - 13 (7page)

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In this work, the application of laser induced breakdown spectroscopy (LIBS) for the composition analysis of thin $Cu(In,Ga)Se_2$ (CIGS) solar cell films ($1-2{\mu}m$ thickness) is reported. For the ablation of CIGS films, femtosecond (fs) laser (wavelength = 343nm, pulse width = 500fs) and nanosecond (ns) laser (wavelength = 266nm, pulse width = 5ns) were used under atmospheric environment. The emission spectra were detected with an intensified charge coupled device (ICCD) spectrometer and multichannel CCD spectrometer for fs-LIBS and ns-LIBS, respectively. The calibration curves for fs-LIBS and ns-LIBS intensity ratios of Ga/Cu, In/Cu, and Ga/In were generated with respect to the concentration ratios measured by inductively coupled plasma optical emission spectrometry (ICP-OES).

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