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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
민철기 (한국정보통신대학교) 이만섭 (한국정보통신대학교)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제11권 제2호
발행연도
2008.1
수록면
20 - 25 (6page)

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Polyimide is one of the useful materials in industry. The surface treatment of polyimide by a femtosecond laser can help accurate and fine fabrication of microstructure. And it can change the transmittance and reflectance of polyimide, too. We put femtosecond laser pulses on polyimide for rectangular or square type surface treaments and observe the change of transmittance and reflectance. Pulsewidth is 172 fs, laser power changes for fabrication are from 5 mW to 20 mW, and transmittance and reflectance are measured under 20m W, 300m W, and 920 mW. Pulse patterning is stable and almost no unwanted surface damage is shown. As power increases, working depth increases but working line width does not increase significantly. As speed changes, they also have same results. It shows the efficiency of a femtosecond laser is good and thermal damage is small for polyimide.
#Femtosecond laser #polyimide processing #micro machining #optical property

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