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저자정보
신제식 (한국생산기술연구원 생산기반기술연구본부) 김대석 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 김기영 (한국기술교육대학교 신소재공학과) 손인진 (전북대학교 신소재공학부 공업기술연구센터) 문병문 (한국생산기술연구원 생산기전기술연구본부)
저널정보
한국자원리싸이클링학회 자원리싸이클링 자원리싸이클링 제18권 제1호
발행연도
2009.1
수록면
38 - 43 (6page)

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본 고에서는 현행 고순도 폴리실리콘 제조공정에서 부산물로 발생하고 있는 실리콘 미세분말을 경제적인 가격에 태양전지급 원료로 재이용하고자 실리콘 미세분말의 무점결제 성형공정에 대한 연구를 수행하였다. 폴리실리콘 미세분말의 평균 크기는 $7.8{\mu}m$였으며, 주요 불순물은 표면 산화물과 수분이었다. 표면 산화물을 제거하기 위한 HF수용액-에탄올 혼합용액을 이용한 전처리공정을 행함으로써 폴리실리콘 분말의 성형성 그리고 성형체의 밀도 및 강도를 향상시킬 수 있었다. 진공 중에서 성형하는 경우 성형체 회수율이 20%증가하였다. 폴리실리콘 미세 분말은 공정 부산물 상태에서는 태양전지용 원료로 사용되기에 적합한 순도가 아니었지만, 건식 열처리를 행함으로써 태양전지급 이상의 순도를 확보할 수 있었다.

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