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자료유형
학술저널
저자정보
전성빈 (School of Mechanical Engineering, Yonsei Univ.) 김도형 (Center for Information Storage Device,Yonsei Univ.[CISD]) 조장현 (Center for Information Storage Device,Yonsei Univ.[CISD]) 박노철 (School of Mechanical Engineering, Yonsei Univ.) 양현석 (School of Mechanical Engineering, Yonsei Univ.) 박경수 (Center for Information Storage Device,Yonsei Univ.[CISD]) 박영필 (School of Mechanical Engineering, Yonsei Univ.)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제8권 제2호
발행연도
2012.1
수록면
44 - 49 (6page)

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We measured the surface flatness of both sides for refractive media using the transmitted digital holography method. To enhance the accuracy of the result, phase-shifting system was used. With two different phase modulation of reference beam, the phase profile of object can be easily obtained. Thus, we proposed the surface measurement method which can measure large area fast, compared with conventional methods. To guarantee the reliability of obtained result, we compared with Zygo measurement system. With the proposed method, the surface flatness of $3.45{\mu}m$ resolution could be obtained.
#홀로그래피 #디지털 홀로그래피 #위상천이 간섭계 #표면 측정

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K. Curtis / 2010 / Holographic Data Storage: From Theory to Practical Systems google schola H. Coufal / 2000 / Holographic data storage, Springer series in optical sciences google schola J. W. Goodman / 1967 / Digital Image Formation from Electronically Detected Holograms / Applied Physics Letters 11:77~79 google schola Dipankar Bhattacharyya / 2002 / Direct measurement on transparent plates by using Fizeau interferometry / Optics & Laser Technology 34:93~96 google schola Ichirou Yamaguchi / 2001 / Surface contouring by phase-shifting digital holography / Optics and Lasers in Engineering 36:417~428 google schola

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