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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
황경호 (연세대학교 대학원 기계공학과) 이종수 (연세대학교 기계공학부)
저널정보
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 정보저장시스템학회논문집 제4권 제1호
발행연도
2008.1
수록면
6 - 12 (7page)

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The paper deals with the numerical analysis and design optimization of polysilicon micro thermal flexure actuator. The deflection of a thermal actuator is implicitly related to the actuation time so that such deflection is to be maximized under the consideration of structural performances such as maximum stress and natural frequencies. At first, the structural formulation of a thermal actuator is reviewed, and its CAE based simulation is performed to verify the numerical model. A parametric study is then conducted to identify the mainly effective design variables. Finally, the design of a micro thermal actuator is explored in the context of deterministic optimization and reliability based design optimization in the present study.
#열변형 액추에이터 #구조 성능 #최적설계 #신뢰성 #Thermal Actuator #Structural Performance #Optimization #Reliability

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