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수중 음향 벡터센서는 음압 뿐 아니라 음파의 진행 방향에 관한 정보를 측정할 수 있는 센서이다. 본 논문에서는 미세 외팔보를 이용한 수중 음향 벡터 센서를 구현하기 위해 음향학적 이론을 바탕으로 음향과 기계 구조물의 상호작용을 이론적으로 정립하고자 하였다. 감응 방식으로 압전 효과를 이용한 두 가지 유니모프(unimorph)형태의 모델을 제시하였으며, 제시된 모델에 대하여 압전 미세 외팔보의 거동을 집중 질량 모델을 통해 음파가 임의의 주파수와 각도를 가지고 미세 외팔보로 입사할 때 나오는 신호의 크기를 구할 수 있는 전달함수를 유도하였다. 또한 이를 바탕으로 매우 얇고 유연한 구조물로 미세 외팔보를 설계하면 매질의 입자 속도에 관한 정보를 직접적으로 측정 가능한 센서로 활용할 수 있다는 것을 확인하였다.
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C. H. Sherman. / 2007 / Transducers and Arrays for Underwater Sound / Springer :176
S. J. Choi. / 2010 / A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing / Sens. Actuators. A. Phys 158:60~71
S. J. Choi. / 2010 / A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing / Sensors and Actuators A : Physical 158:60~71
H. E. de Bree / 2003 / The microflown : an acoustic particle velocity sensor / Acoust. Aust 31:91~94
C. Xue. / 2007 / Design, fabrication, and preliminary characterization of a novel mems bionic vector hydrophone / Microelectronics J 38:1021~1026
S. J. Choi. / 2010 / A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing / Sens. Actuators. A. Phys 158:60~71
S. J. Choi. / 2010 / A micro-machined piezoelectric hydrophone with hydrostatically balanced air backing / Sensors and Actuators A : Physical 158:60~71
H. E. de Bree / 2003 / The microflown : an acoustic particle velocity sensor / Acoust. Aust 31:91~94
C. Xue. / 2007 / Design, fabrication, and preliminary characterization of a novel mems bionic vector hydrophone / Microelectronics J 38:1021~1026
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