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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김소영 (울산대학교 첨단소재공학부) 전재현 (울산대학교 첨단소재공학부) 공태경 (울산대학교 첨단소재공학부) 김선경 (울산대학교 첨단소재공학부) 최동혁 (동국실업주식회사) 손동일 (동국실업주식회사) 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제28권 제2호
발행연도
2015.1
수록면
63 - 67 (5page)

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$TiO_2/Ag/TiO_2$ trilayer films were deposited with radio frequency (RF) and direct current (DC) magnetron sputtering onto the glass substrate to consider the influence of Ag interlayer on the optical properties of the films. The thickness of $TiO_2$ films was kept at 24 nm, while the thickness of Ag interlayer was varied as 5, 10, 15, and 20 nm. As-deposited $TiO_2$ single layer films show the optical transmittance of 66.7% in the visible wave-length region and the optical reflectance of 16.5%, while the $TiO_2$ films with a 15 nm thick Ag interlayer show the enhanced optical transmittance of 80.2% and optical reflectance of 77.8%. The carrier concentration was also influenced by Ag interlayer. The highest carrier concentration of $1.01{\times}10^{23}cm^{-3}$ was observed for a 15 nm thick Ag interlayer in $TiO_2/Ag/TiO_2$ films. The observed result means that an optimized Ag interlayer in $TiO_2/Ag/TiO_2$ films enhanced the structural and optical properties of the films.

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