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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김선경 (울산대학교 첨단소재공학부) 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제27권 제5호
발행연도
2014.1
수록면
225 - 229 (5page)

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The influence of electron irradiation energy(eV) on the structural, electrical and optical properties of ITO/ZnO bi-layered films prepared with RF magnetron sputtering has been investigated. The ITO/ZnO show the lowest resistivity of $2.8{\times}10^{-4}{\Omega}cm$. The optical transmittance in a visible wave length region also increased with the electron irradiation energy. The film irradiated at 900 eV shows 82---- of optical transmittance in this study. By comparison of figure of merit, it was observed the optical transmittance and electrical resistivity of the films were dependent on the electron irradiation energy and optoelectrical performance of ITO/ZnO film is improved with electron irradiation.
#ITO #ZnO #RF magentron sputtering #Electron irradiation #Figure of Merit

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