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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
천권수 (대구가톨릭대학교 방사선학과)
저널정보
한국방사선학회 한국방사선학회 논문지 한국방사선학회 논문지 제14권 제1호
발행연도
2020.1
수록면
69 - 75 (7page)

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다층박막 거울은 산업뿐만 아니라 의료 분야에서도 사용되고 있다. 층수가 40인 W/C 다층박막 거울의 성능을 평가하기 위해 엑스선회절분석기로 엑스선반사율을 측정하였다. 40층의 각 층에 대해 두께, 밀도, 계면거칠기를 획득하기 위하여 유전 알고리즘이 사용된다. 기존의 균일 무작위 선택을 하면 해가 수렴하지 않거나 수렴하더라도 오차가 커지는 문제가 발생하여 개선이 요구되었다. 유전 알고리즘의 적합도를 계산하는 시간을 단축하기 위해 C/C++로 병렬 프로그래밍하였다. 제작된 유전 알고리즘은 세대수의 증가와 개체군의 증가에 대해 선형적인 시간 증가를 보여 우수한 scalability를 보였다. 유전 알고리즘의 선택을 균일과 가우시안 무작위를 1:1로 하여 해의 수렴을 보다 안정적으로 개선하였다. 개선된 유전 알고리즘은 다층 박막 거울과 같이 층의 개수가 수십 층 이상이 되는 시료의 각 층의 특성을 파악하는데 적용할 수 있을 것이다.
#다층박막 거울 #엑스선 반사율 #유전 알고리즘

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S. D. A. Haase / 1995 / Scattering of X-rays and neutrons at interfaces / Physics Reports 260(1-2):1~138 google schola 천권수 / 2009 / Monochromatic X-ray Imaging System Using a W/C Multilayer Mirror / Journal of the Korean Physical Society 55(6):2571~2577 google schola E. Spiller / 1994 / Soft X-ray Optics / SPIE Press google schola E. Spiller / 1993 / Multilayer x-ray mirrors : Interfacial roughness, scattering, and image quality / Journal of Applied Physics 74(1):107~118 google schola J. Daillant / 1999 / X-Ray and Neutron Reflectivity: Principles and Applications / Springer google schola

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