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학술저널
저자정보
강민구 (고려대학교 신소재공학과) 탁성주 (고려대학교 신소재공학과) 이종한 (고려대학교 신소재공학과) 김찬석 (고려대학교 신소재공학과) 정대영 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) 이정철 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) 김동환 (고려대학교 신소재공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제21권 제2호
발행연도
2011.1
수록면
120 - 124 (5page)

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Silicon heterojunction solar cells have been studied by many research groups. In this work, silicon heterojunction solar cells having a simple structure of Ag/ZnO:Al/n type a-Si:H/p type c-Si/Al were fabricated. Samples were fabricated to investigate the effect of transparent conductive oxide growth conditions on the interface between ZnO:Al layer and a-Si:H layer. One sample was deposited by ZnO:Al at low working pressure. The other sample was deposited by ZnO:Al at alternating high working pressure and low working pressure. Electrical properties and chemical properties were investigated by light I-V characteristics and AES method, respectively. The light I-V characteristics showed better efficiency on sample deposited by ZnO:Al by alternating high working pressure and low working pressure. Atomic concentrations and relative oxidation states of Si, O, and Zn were analyzed by AES method. For poor efficiency samples, Si was diffused into ZnO:Al layer and O was diffused at the interface of ZnO:Al and Si. Differentiated O KLL spectra, Zn LMM spectra, and Si KLL spectra were used for interface reaction and oxidation state. According to AES spectra, sample deposited by high working pressure was effective at reducing the interface reaction and the Si diffusion. Consequently, the efficiency was improved by suppressing the SiOx formation at the interface.

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