바이오센서 개발을 위한 음향 브래그 반사층을 가지는 체적탄성파 공진기의 공진특성 분석

김희영; 김기복; 하태훈; 김용일; 이진민; 김만수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김희영 (KSAM, Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science) 김기복 (KSAM, Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science) 하태훈 (Department of Medical Physics, University of Science and Technology) 김용일 (Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science) 이진민 (Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science) 김만수 (KSAM, Division of Bioresources Engineering, Chungnam National University)

저널정보: 한국농업기계학회 바이오시스템공학(구 한국농업기계학회지) 바이오시스템공학 제34권 제4호

발행연도: 2009.1

수록면: 260 - 268 (9page)

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As a basic study to develop a high sensitive biosensor using film bulk acoustic resonator, the mathematical model for analyzing the resonance characteristics of bulk acoustic resonator with acoustic Bragg reflectors was investigated. The simulation results due to the number of acoustic Bragg reflectors with low and high acoustic impedance materials were compared with the experimental results for 1, 2.25 and 5 MHz of PZT based bulk acoustic resonators with various acoustic Bragg reflectors. At the fabricated bulk acoustic resonator with an odd number of acoustic Bragg reflectors, low and high acoustic impedance materials in sequence under the bottom electrode showed better resonance characteristics than even number of acoustic Bragg reflectors. The changes of resonance frequencies due to the increase of number of acoustic Bragg reflectors by simulation and experiment, respectively showed approximately similar tendency but some differences in input impedance between the experiment and simulation were found. The derived mathematical model for describing the resonance characteristics of the bulk acoustic resonator with acoustic Bragg reflector will be available for analyzing the design parameters for development of biosensor using bulk acoustic resonator.

#Bulk acoustic resonator #Acoustic Bragg reflector #Biosensor #Resonance characteristics

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김희영

소속기관 KSAM, Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science

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김기복

소속기관 Division of Metrology for Quality Life, Korea Institute of Standards and Science[KRISS]

주요연구분야 농수해양학 > 임학 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 64 이용수 216

하태훈

소속기관 Dept. of Medical Physics, University of Science & Technology

주요연구분야 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 2 이용수 1

김용일

소속기관 Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 2 이용수 2

이진민

소속기관 Division of Industrial Meteology, Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 2 이용수 47

김만수

소속기관 충남대학교 농업생명과학대학 생물자원공학부

주요연구분야 농수해양학 > 농학 공학 > 기타공학 > 농공학

논문수 118 이용수 279

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